無塵室等級標準

發表時間:2012/6/11 瀏覽:20621

標簽:無塵室 無塵室等級  所屬專題:無塵室專題

        依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。
 
        現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格(U.S.Federalstandard209b),BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。
其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0.5以下時,表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

在JIS標準下,無塵室清潔度,共分為8個等級
        一般清潔度是指空氣的潔凈等級,分為等級1、2•••8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3,一次類推。

        21世界,最尖端產業的發展,加速了產業結構的變革,無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導致品質低下。伴隨商品的高品質要求,環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。

美國聯邦標準(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3
潔凈度級別                              粒 徑 (um)
                                0.1        0.2        0.3        0.5           5.0
1                              35         7.5        3            1              NA
10                           350       75        30         10              NA
100                         NA        750      300        100          NA
1000                       NA        NA        NA        1000          7
10000                     NA        NA        NA        10000       70
100000                   NA        NA        NA        100000     700

中國藥品生產無塵車間(區)的空氣潔凈度標準
潔凈度級別      塵埃最允許數 /平方米                  微生物最大允許數
                           ≥0.5um        5um           浮游菌個/立方米     沉降菌個/皿.30min

100                     3500             0                             5                          1
10000                350000        2000                     100                       3
100000              3500000      20000                  500                      10
300000              10500000    61800                  NA                        15

無塵車間及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001
空氣潔凈度                   大于或等于表中粒徑的最大濃度限值 (pc/m3)
等級 (N)         0.1μm        0.2μm        0.3μm        0.5μm        1μm        5μm
1                        10                2                                   
2                        100              24               10               4                 
3                        1000           237             102            35              8        
4                        10000         2370           1020         352            83        
5                        100000       23700        10200       3520          832          29
6                       1000000      237000      102000    35200        8320       293
7                                                                                   352000      83200     2930
8                                                                                   3520000    832000   29300
9                                                                                  35200000   8320000  293000

        所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。


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