無塵室的分類

發表時間:2012/6/10 瀏覽:15928

標簽:無塵室 無塵室的分類  所屬專題:無塵室專題

目前無塵室可以分為三大類
一、亂流式(Turbulent Flow):
  空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈的。氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。   

        優點:構造簡單、系統建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。   
        缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

二、層流式(Laminar):
  層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:   
        (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。   
         優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。   
         缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
   
        (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。   
        優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。   
        缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

三、復合式(Mixed Type):
  復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。   (1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。   
        此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。   
        潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。   

(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。   

(3)并裝局部無塵室(Clean Spot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。   
        潔凈工作臺:等級Class 1~100級。   
        潔凈工作棚:為在亂流式之無塵室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。


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